國產光刻機開始成型瞭,ASML著急的原因找到瞭

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國產光刻機開始成型瞭,ASML著急的原因找到瞭!

一提到光刻機,我們很自然而然會把它和ASML聯想起來,作為全球唯一有能力生產該設備的廠商,在老美供應鏈的支持之下,完全壟斷瞭全球市場,依靠著頂尖的EUV光刻機,保持著頂級的競爭優勢。

雖然目前芯片的最高制程工藝,已經逐漸步入瞭3nm時代,但實則芯片達到7nm工藝之後,在使用過程中就已經出現瞭產能過剩的情況,從國內超過90%的芯片需求,來自於成熟工藝就能夠看得出來。

而這成熟工藝指代的就是14nm及以上的制程芯片,僅需要依靠DUV光刻機就能夠完成制造,因此目前對於我們來說,除瞭手機等等智能設備的需求之外,也不需要用到7nm以下的芯片。

實際上在制造芯片的過程中,DUV光刻機已經曝光瞭大部分的層,而EUV光刻機隻是在尖端工藝的關鍵層當中,才起到相應的作用,所以整體而言,DUV光刻機才是制造芯片的基礎。

什麼是DUV光刻機

對於“DUV光刻機”這詞大傢都不陌生瞭,但想必真正瞭解其含義的人並沒有多少,實際上DUV光刻機隻是一個統稱,旗下有KRF、ARF和ARFi三個大類。

而其中ARFi也被稱之為浸潤型光刻機,也是三個大類之中最主要的存在,其等效光波波長為134nm,而ARF以及KRF的波長,則分別為193nm以及248nm。

而EUV光刻機和DUV光刻機的區別,就在於這波長的長短問題上,進度越小的波長就意味著技術越先進,因此即便都是DUV光刻機,浸潤型的ARFi光刻機才是最高端的。

ARFi光刻機的核心技術就在於浸潤系統,這134nm的光波是芯片制造的臨界點,是研發28nm沉浸式DUV光刻機的關鍵,一旦成功突破瞭這道枷鎖,就能夠用於14nm及以下芯片的制造。

如果沒有這個浸潤系統的加入,DUV光刻機隻能支持到38nm的分辨率,ARFi光刻機才能突破到28nm的分辨率,而在這個系統上,目前國產的技術已經實現瞭重大的突破。

國產光刻機迎來重大突破

據悉國內的啟爾機電經過多年的努力,終於在實現瞭高端集成電路裝備第八代升級,對於液體溫度的控制更加的精準,把標準誤差控制在瞭±0.001度。

而這項技術的突破,給浸潤系統的成型提供瞭絕佳的條件,目前中試基地已經正式啟動瞭該項目,並且成功步入到瞭量產前的測試階段,在解決瞭良品率、生產效率等等問題之後,就能夠正式推向市場。

而曝光系統和鏡頭作為另外兩項關鍵技術,此前的國望光學已經宣佈,成功進入瞭設備導入階段,如今又有瞭浸潤系統的支持,意味著三大核心技術已經實現瞭突破。

而上海微電子已然具備瞭組裝工藝,最重要的技術難題解決瞭,剩下的零部件獲取問題,大部分都能夠依靠國產供應鏈供給,少部分可以和國際企業展開相應的合作,國產DUV光刻機的誕生近在咫尺瞭。

ASML開始著急瞭

也難怪之前餘承東表態:“華為手機即將迎來回歸!”原來早就洞悉到瞭國產光刻機的市場環境變化,配合上自研的“芯片堆疊”技術,隻要實現瞭14nm芯片的國產化,利用雙芯疊加就能實現7nm芯片的性能,芯片供應問題自然就迎刃而解瞭。

也難怪ASML近期不顧老美的反對,也要堅決開始全面佈局中國市場的,這是在進行最後的殊死一搏,一旦國產的DUV光刻機誕生瞭,的確中國市場也就沒有ASML什麼事瞭。

按照目前的情況來看,ASML想要供應EUV光刻機給中國市場,基本上不存在任何的可能,至少在2025年之前是不可能實現的,因為老美至少要為英特爾爭取發展時間到2025年。

雖然國產光刻機僅僅突破瞭28nm的屏障,但卻能幫助國內打造出完全自主化成熟工藝產能,意味著除瞭手機等等智能設備之外,所有領域的需求基本都能夠滿足瞭,將加速完成芯片70%自給率的目標。

ASML從28nm邁入7nm時代,總計用瞭超過5年的時間,而DUV光刻機和EUV光刻機的核心技術區別並不大,主要在於波長的控制和光源的技術升級上。

有瞭相應技術的國產供應鏈,很有可能並不需要5年時間,就能夠實現突破,即便需要5年的時間,14nm及以下的芯片,滿足國內5年的需求,應該是不成問題的,所以我們擁有足夠的研發時間。

ASML這麼著急佈局的原因,就是想要低價出售DUV光刻機給我們,以達到打擊國內研發進度的目的,不過這一次它們的計劃要落空瞭,對此你們是怎麼看的呢?

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  • 本文由 发表于 2022年6月15日
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